一,測(cè)試原理:

　　當(dāng)四根金屬探針排成一條直線,并以一定壓力壓在半導(dǎo)體材料上時(shí),在1,4兩根探針間通過(guò)電流I,則2,3探針間產(chǎn)生電位差V(如圖所示).

　　根據(jù)公式可計(jì)算出材料的電阻率:

　　其中,C為四探針的探針系數(shù)(cm),它的大小取決于四根探針的排列方法和針距.

　　二,儀器操作:

　　(一)測(cè)試前的準(zhǔn)備:

　　1,將電源插頭插入儀器背面的電源插座,電源開(kāi)關(guān)置于斷開(kāi)位置;

　　2,工作方式開(kāi)關(guān)置于"短路"位置,電流開(kāi)關(guān)處于彈出位置;

　　3,將手動(dòng)測(cè)試架的屏蔽線插頭與電氣箱的輸入插座連接好;

　　4,對(duì)測(cè)試樣品進(jìn)行一定的處理(如噴沙,清潔等);

　　5,調(diào)節(jié)室內(nèi)溫度及濕度使之達(dá)到測(cè)試要求.

　　(二)測(cè)試:

　　首先將電源開(kāi)關(guān)置于開(kāi)啟位置,測(cè)量選擇開(kāi)關(guān)置于"短路",出現(xiàn)數(shù)字顯示,通電預(yù)熱半小時(shí).

　　1,放好樣品,壓下探頭,將測(cè)量選擇開(kāi)關(guān)置于"測(cè)量"位置,極性開(kāi)關(guān)置于開(kāi)關(guān)上方;

　　2,*PRS-801表面電阻測(cè)試儀選擇適當(dāng)?shù)碾妷毫砍毯碗娏髁砍?數(shù)字顯示基本為"0000",若末位有數(shù)字,可旋轉(zhuǎn)調(diào)零調(diào)節(jié)旋鈕使之顯示為"0000";

　　3,將工作方式開(kāi)關(guān)置于"I調(diào)節(jié)",按下電流開(kāi)關(guān),旋動(dòng)電流調(diào)節(jié)旋鈕,使數(shù)字顯示為"1000",該值為各電流量程的滿量程值;

　　4,再將極性開(kāi)關(guān)壓下,使數(shù)顯也為1000±1,退出電流開(kāi)關(guān),將工作方式開(kāi)關(guān)置于1或6.28處(探頭間距為1.59mm時(shí)置于1位置,間距為1mm時(shí)置于6.28位置);

　　(調(diào)節(jié)電流后,上述步驟在以后的測(cè)量中可不必重復(fù);只要調(diào)節(jié)好后,按下電流開(kāi)關(guān),可由數(shù)顯直接讀出測(cè)量值.)

　　5,若數(shù)顯熄滅,僅剩"1",表示超出該量程電壓值,可將電壓量程開(kāi)關(guān)撥到更;

　　6,讀數(shù)后,將極性開(kāi)關(guān)撥至另一方,可讀出負(fù)極性時(shí)的測(cè)量值,將兩次測(cè)量值取平均數(shù)即為樣品在該處的電阻率值.

　　三,注意事項(xiàng):

　　1,壓下探頭時(shí),壓力要適中,以免損壞探針;

　　2,由于樣品表面電阻可能分布不均,測(cè)量時(shí)應(yīng)對(duì)一個(gè)樣品多測(cè)幾個(gè)點(diǎn),然后取平均值;

　　3,*PRS-801表面電阻測(cè)試儀樣品的實(shí)際電阻率還與其厚度有關(guān),還需查附錄中的厚度修正系數(shù),進(jìn)行修正.